高纯度气体过滤器_大宗气体专业纯化过滤器_大流量气体过滤器
BF系列大宗气体专用过滤器、专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计、采用全316L不锈钢精密打造、多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损、过滤精度高达0.003μm、满足超高纯工艺需求。整体金属构造、是高温动态环境下的理想过滤解决方案。
产品特点
▶ 整体316L不锈钢结构
▶ 高通量、低阻力
▶ 超高颗粒拦截率
▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶ 适用于多种工艺气体
▶ 适用于洁净室环境内制造、测试、包装
▶ 100%完整性测试
▶ 100%氨气检漏测试
金沙娱场城官网大宗气体专用过滤器有着多种规格型号，可提供OEM定制服务，按照您的需求设计生产大宗气体专用过滤器，为您的项目提供最专业的过滤解决方案。
产品参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | ||
| 最大进气压力 | 207bar | 最大工作压差 | 5.2bar | ||
| 氦气验证泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦气测试泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面处理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用温度 | 惰性气体 | 400-500*C |
| 内表面 | Ra < 0.2μm | 腐蚀性气体，反应气体 | 50C | ||
| 颗粒拦截效率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游洁净度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 颗粒拦截粒径 | ≧0.003μm | ||||
