真空系统气体过滤器_KF滤网耐热耐腐蚀中心支架过滤网
KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风，适合短时间内传递大量气体流的场合。
产品特点
减少工艺腔体排气时的湍流
适用于多种工艺气体
洁净室环境内制造、测试、包装
100% 完整性测试通过
技术参数
| 滤芯材质 | 16L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 |
| 最大进气压力 | 6.89bar | 0-ring | 氟橡胶(可选) |
| 最大工作压差 | 3bar | 工作寿命 | ≥100,000cycles |
| 最高操作温度 | 100°C with 0-ring 400′C with no 0-ring |
下游洁净度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um rate flow |
