工艺气体专用过滤器_高纯UHP超纯气流微粒直通一体式过滤器
TF系列工艺气体专用过滤器、专为半导体领域设计、精准清除UHP超纯气流微粒、保障生产纯净度。
其安装简便、仅需气路对接与螺母紧固、避免焊接风险、确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造、结构紧凑轻盈、大幅降低压力损耗、展现卓越微粒过滤效率、是工艺气体净化的理想之选。
W型一体式过滤器特点：
.全焊接结构，杜绝泄露过滤面积大，流量系数高，
.逆流时，可完成冲洗过程
.阀体和过滤元件全渗透焊接
.过滤元件公称孔尺寸:0.5、2、7、15、40um
.工作压力可达:414bar(6000psig)
.工作温度:-28~+482°℃
产品参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | ||
| 氦气验证泄漏率 | 2×10-’cc/min | 氦气测试泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面处理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用温度 | 惰性气体 | 400-500*C |
| 内表面 | Ra < 0.2μm | 腐蚀性气体，反应气体 | 50C | ||
| 颗粒拦截效率 | z99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游洁净度 | s0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 颗粒拦截粒径 | ≧0.003μm | ||||
过滤面积
| 过滤器类型 | 过滤面积规格 | 过滤面积mm2 | |
| 烧结式 | 滤网式 | ||
| W型一体式 | / | / | 254 |
