工艺气体专用过滤器_精准UHP超纯气流直通三通式过滤器
TF系列工艺气体专用过滤器、专为半导体领域设计、精准清除UHP超纯气流微粒、保障生产纯净度。其安装简便、仅需气路对接与螺母紧固、避免焊接风险、确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造、结构紧凑轻盈、大幅降低压力损耗、展现卓越微粒过滤效率、是工艺气体净化的理想之选。
产品特点
▶ 整体316L不锈钢结构
▶ 高通量、低阻力
▶ 超高颗粒拦截率
▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀、适用于多种工艺气体、适用于洁净室环境内制造、测试、包装100%完整性测试
▶ 100%氨气检漏测试
T型过滤器
·联合阀帽设计，更安全
·工作温度:-28~+482℃
.工作压力可达:414bar (6000psig)可选配底部旁通道，可用于取样和清洗
技术参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | ||
| 氦气验证泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦气测试泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面处理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用温度 | 惰性气体 | 400-500°C |
| 内表面 | Ra < 0.2μm | 腐蚀性气体，反应气体 | 50°C | ||
| 颗粒拦截效率 | ≧99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游洁净度 | ≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 颗粒拦截粒径 | ≧0.003μm | ||||
过滤面积
| 过滤器类型 | 过滤面积规格 | 过滤面积mm2 | |
| 烧结式 | 滤网式 | ||
| T型 | 2 | 830 | 640 |
| 4 | 830 | 640 | |
| 8 | 1280 | 1090 | |
