DF系列扩散器专用过滤器专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计   稳压、稳流、规避湍流，结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性、扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003um。独特的全316L不锈钢结构、不仅确保高效过滤、更巧妙的规避了湍流产生、对工艺室环境造成影响、有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计、灵活适应各类安装空间。

产品特点

不锈钢粉末烧结介质、可快速排气

整体316L不锈钢结构

减少工艺腔体排气时的湍流

适用于多种工艺气体

洁净室环境内制造、测试、包装

100%完整性测试通过

100%氨气泄露检测通过、耐高温、耐高压、耐腐蚀

防止微粒混入、帮助提高产品合格率可根据安装空间进行设计

技术参数