气体过滤IGS面板专用过滤器_半导体洁净高纯气体过滤器 兼容多种密封
SF系列IGS面板专用过滤器、用于半导体行业集成气体输送与控制系统、兼容C型和W型多种密封规格、实现0.003μm级高效颗粒过滤、保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量、适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造、坚固耐用、紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件、便于系统集成与模块化设计升级、安装维护便捷高效。
产品特点
▶ 整体316L不锈钢结构
▶ 小型化设计、结构紧凑、不占用空间优异的气体置换和解吸特性
▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶ 电解抛光316L不锈钢外壳
▶ 安装与检修便捷高效
▶ 采用机械密封、结构上与介质无焊接
技术参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | |
| 最大进气压力 | 3.4Mpa@100°C | 最大工作压差 | 0.69Mpa@100°C | |
| 氦气验证泄漏率 | 1×10-10cc/min | 氦溍照气测试泄漏率 | 1×10-10 cc/min |
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| 表面处理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用温度 | 460℃C |
| 内表面 | Ra < 0.13μm | |||
| 颗粒拦截效率 | ≧99.9999999%(9LRV)@120slpm (参考MPPS所有颗粒) |
下游洁净度 | 颗粒释放:<0.03particles/liter (<1particle/ft3)greater than 0.01μm Volatiles:<10ppb moisture |
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| 颗粒拦截粒径 | ≧0.003μm | 流量范围 | 0~120slpm | |
