在线式专用气体过滤器|半导体超纯大流量气体过滤器
0F系列在线式专用气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。
产品特点
1，整体316L不锈钢结构
2，适合高温应用
3，超高颗粒拦截率
4，高流量、高强度、稳定可靠
5，适用于多种工艺气体
6，可选其它点位在线安装，方便快捷
7，100%完整性测试
8，100%氨气检漏测试
产品参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | ||
| 最大进气压力 | 207bar | 最大工作压差 | 5.2bar | ||
| 氦气验证泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦气测试泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面处理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用温度 | 惰性气体 | 400-500*C |
| 内表面 | Ra < 0.2μm | 腐蚀性气体，反应气体 | 50°C | ||
| 颗粒拦截效率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游洁净度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 颗粒拦截粒径 | ≧0.003μm | ||||
