高压气体过滤器_半导体精密过滤器_压缩空气氨气过滤器
HF系列高压气体专用过滤器它用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合、兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命、能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物、保护系统免受污染、从而提升气体质量、保障设备高效运行。滤芯可更换、维护简便。
产品特点
1、整体316L不锈钢结构
2、轻量化、小型化、减少安装空间螺纹连接、确保整个高压气体过滤器的密封性兼容C型和W型多种密封规格
3、耐高温、耐高压、耐腐蚀
4、过滤效率高、不易堵寒
5、安装与检修便捷高效
6、100%完整性测试通过
7、100%氨气泄露检测通过
技术参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | |
| 表面处理 | 内表面 | Ra < 1.6μm | 过滤精度μm | ≥10~0.003 |
| 外表面 | 电解Ras0.13μm | |||
| 最大工作压差 | 500bar | 最大工作压差 | 5bar | |
| 最高使用温度 | 600°C | 下游洁净度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um rated flow |
|
| 氦气验证泄漏率 | 1x10-10cc/min | 氦气测试泄漏率 | 1×10-9/min | |
