高纯度多孔金属限流器_气体高流量过滤器100%氦气测试
RF系列多孔金属限流器、通过与不同规格的气阻配件结合、安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中、
产品特点:
1、结构紧凑、节省空间
2、通过更换气阻配件、可定制不同流量
3、流量控制可靠持久
4、可用于高流量、高温度与高压力环境、减少气体流动负担、不易堵塞、可形成层流整体316L不锈钢结构、无结构弯曲或颗粒脱落
5、使用寿命长
6、100%氨气泄露检测通过
技术参数
滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 |
流量范围 | 0.1sccm~40slpm | 最大工作压差 | 1500psig |
精度 | +7.5% Base | 可重复性 | 士0.1% |
最高使用温度 | 460℃ | 氦气泄漏率 | 1×10-9cc/min |
密封面尺寸 | 1/4″‘VCR |