在半导体制造这个高端且精密的领域中,工艺气体的纯净度直接关乎芯片的质量与性能。而 BF 系列大宗气体专用过滤器,作为半导体气体大流量异形过滤器中的佼佼者,发挥着极为关键的作用。
半导体芯片的制造过程极其复杂,像光刻、蚀刻、薄膜沉积等关键工序,对工艺气体的纯度要求近乎苛刻。哪怕是极其微小的杂质,都可能导致芯片出现缺陷,降低成品率。BF 系列过滤器专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤而生,其采用全 316L 不锈钢精密打造。这种材质不仅具有出色的耐腐蚀性,能适应半导体生产环境中各种化学物质的侵蚀,而且坚固耐用,为过滤器的长期稳定运行提供了坚实保障。
它的多柱状或叠盘状介质设计堪称精妙。在半导体生产线上,往往需要大流量的工艺气体供应,以满足大规模生产的需求。该设计就确保了在高流通量的情况下,依然能够保持低阻损。这就好比在宽阔的高速公路上,车辆(气体)能够快速顺畅地通行,而不会因为道路(过滤器)的阻碍而减速或者拥堵,极大地提高了生产效率。
其过滤精度高达 0.003um,这是一个非常了不起的数字。那些细微到难以想象的杂质颗粒,在经过 BF 系列过滤器时,都能被精准地拦截下来,从而完美地满足了超高纯工艺对气体纯净度的严苛要求。无论是颗粒杂质、水分,还是其他可能存在的有害成分,都无法逃过它的 “法眼”。
在半导体制造过程中,常常会面临高温动态的环境挑战。例如在一些高温化学气相沉积工艺中,温度较高且气体流动状态复杂。BF 系列过滤器的整体金属构造就显示出了独特的优势,它能够在这样恶劣的环境下稳定工作,成为高温动态环境下理想的过滤解决方案。它就像一位忠诚且强大的卫士,时刻守护着半导体制造工艺气体的纯净,为生产出高质量、高性能的半导体芯片默默贡献着力量,是半导体产业不断发展进步不可或缺的重要支撑设备。
发布时间 24-11-23